ปั๊มบูสเตอร์เชิงกลสุญญากาศสูงพิเศษ

ปั๊มเพิ่มแรงดันเชิงกลแบบสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV) (ปั๊มเพิ่มแรงดันแบบราก) ช่วยเพิ่มปริมาณก๊าซในระบบสุญญากาศแรงดันต่ำ- ซึ่งจำเป็นต้องมีความสามารถในการสูบสูงและมีเวลาหยุดปั๊มที่รวดเร็ว-
ทำงานควบคู่ไปกับปั๊มสำรองที่ใช้งานร่วมกันได้ (เช่น ปั๊มสุญญากาศแห้งหรือปั๊มใบพัดหมุน) บูสเตอร์ใช้การกระทำทางกลเชิงแทนที่เชิงบวก-เพื่อถ่ายเทก๊าซจากด้านห้องเพาะเลี้ยงไปยังขั้นตอนการสำรอง ซึ่งเพิ่มความเร็วการปั๊มที่มีประสิทธิภาพอย่างมากในช่วงแรงดันสุญญากาศปานกลางถึงสูงพิเศษ-

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

พารามิเตอร์	ข้อมูลจำเพาะ / ข้อกำหนดในการเลือก	ข้อพิจารณาทางวิศวกรรม
ประเภทสินค้า	ปั๊มเพิ่มแรงดันเชิงกล UHV (หลักการราก)	ตัวเร่งปริมาณงาน-การกระจัดสูง-เชิงบวก
มาตรฐานหน้าแปลน	ISO-K / ISO-F, หน้าแปลน CF หรือกำหนดเอง	เลือกตามสื่อนำไฟฟ้าและความสมบูรณ์ของซีล UHV
ช่วงความเร็วการสูบน้ำ	ขึ้นอยู่กับรุ่น- (อ้างอิงถึงเส้นโค้งประสิทธิภาพ)	ต้องคำนวณร่วมกับสื่อนำไฟฟ้าของระบบ
แรงดันใช้งาน	สุญญากาศปานกลางถึงสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV)	ควบคุมโดยรถไฟสูบน้ำทั้งหมดและการปล่อยก๊าซออกจากห้อง
การจับคู่ปั๊มสำรอง	ปั๊มแห้ง ใบพัดหมุน หรือลูกสูบโรตารี	ความจุสำรองต้องตรงกับอัตราการไหลของบูสเตอร์
แรงดันต่างสูงสุด	ขีดจำกัดแรงดันที่อนุญาตเฉพาะรุ่น- (Delta P สูงสุด)	ป้องกันความร้อนเกินและความเครียดทางกล
สุญญากาศ-วัสดุด้านข้าง	สแตนเลส, โลหะผสมที่ผ่านการบำบัด, การเคลือบพิเศษ	อัตราการปล่อยก๊าซต่ำและทนต่อสารเคมี
การกำหนดค่าการปิดผนึก	อีลาสโตเมอร์ (FKM/FFKM) หรือซีลโลหะ (CF)	เลือกตามอัตราการรั่วไหลของฮีเลียมและขีดจำกัดการอบออก
อัตราการรั่วไหลของฮีเลียม	สูงสุด 1 x 10^-10 เอ็มบาร์ ลิตร/วินาที	ตรวจสอบโดยเครื่องตรวจจับการรั่วไหลของแมสสเปกโตรมิเตอร์

คู่มือการเลือกและบูรณาการ

ในการเลือกปั๊มเพิ่มแรงดัน Roots ที่ถูกต้อง และให้แน่ใจว่าบูรณาการเข้ากับระบบสุญญากาศของคุณได้อย่างราบรื่น ให้ประเมินจุดปฏิบัติงานต่อไปนี้:
ความเร็วในการสูบน้ำและความดันเป้าหมาย:คำนวณความเร็วในการปั๊มที่มีประสิทธิภาพที่ต้องการที่ทางเข้าห้องเพาะเลี้ยง โดยคำนึงถึงสื่อกระแสไฟฟ้าของท่อด้วย
โหลดก๊าซและสื่อกระบวนการ:ระบุองค์ประกอบของก๊าซในกระบวนการ คุณสมบัติการกัดกร่อน อนุภาคฝุ่น และอัตราการปล่อยก๊าซของวัสดุ
ความเข้ากันได้ของปั๊มสำรอง:ตรวจสอบให้แน่ใจว่าปั๊มสำรองจัดการกับปริมาตรการระบายออกโดยไม่เกินแรงดันส่วนต่างสูงสุดที่อนุญาต (สูงสุด Delta P)
อินเตอร์ล็อคความร้อนและระบบ:กำหนดค่าสวิตช์แรงดัน ไดรฟ์ความถี่แปรผัน (VFD) และอินเตอร์ล็อคการระบายความร้อนเพื่อหลีกเลี่ยงการโอเวอร์โหลดทางกลในระหว่างขั้นตอนการกัดหยาบ

การใช้งานทั่วไป

เซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์:การอพยพและการจัดการก๊าซในกระบวนการสำหรับเครื่องมือสนับสนุนการกัดกรด CVD และการพิมพ์หินที่ต้องการการปนเปื้อนต่ำ
การสะสมและการเคลือบผิวฟิล์มบาง-:รักษาแรงดันใช้งานให้คงที่ในระหว่าง-กระบวนการ PVD, การสปัตเตอร์ และการเคลือบด้วยแสงที่มีปริมาณงานสูง
ห้องปฏิบัติการวิจัย:ประสิทธิภาพสุญญากาศที่เชื่อถือได้สูงสำหรับฟิสิกส์ของอนุภาค วิทยาศาสตร์พื้นผิว และห้องจำลองอวกาศ
เตาสุญญากาศและการแปรรูป:จัดการกับก๊าซหนักได้อย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างการไล่ก๊าซที่อุณหภูมิสูง- การประสานสุญญากาศ และการบำบัดความร้อน

การควบคุมคุณภาพและเอกสารประกอบ

ความน่าเชื่อถือของ UHV ต้องมีมาตรฐานการผลิตและการตรวจสอบที่เข้มงวด:
การประมวลผลห้องสะอาด:การทำความสะอาดอัลตราโซนิกแบบหลายขั้นตอน การล้างไขมันด้วยตัวทำละลาย และบรรจุภัณฑ์ที่ปราศจากฝุ่น-เพื่อให้แน่ใจว่ามีการปล่อยก๊าซต่ำ
การทดสอบความแม่นยำ:การปรับสมดุลโรเตอร์แบบไดนามิก การตรวจสอบมิติ และการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียมแมสสเปกโตรมิเตอร์
เอกสารที่ส่งมอบ:โมเดล-เส้นโค้งความเร็วในการปั๊มเฉพาะ แบบร่าง CAD/STEP ข้อมูลจำเพาะทางไฟฟ้าของมอเตอร์ การรับรองวัสดุ และรายงานการทดสอบการรั่วไหล

คำถามที่พบบ่อย

ถาม: หน้าที่หลักของปั๊มเพิ่มแรงดันเชิงกลสุญญากาศสูงพิเศษคืออะไร

ตอบ: ปั๊มเพิ่มแรงดันเชิงกลแบบสุญญากาศสูงพิเศษจะเพิ่มความเร็วการปั๊มที่มีประสิทธิภาพและปริมาณก๊าซในระบบสุญญากาศแรงดันต่ำ- โดยจะถ่ายเทก๊าซจากห้องสุญญากาศไปยังปั๊มสำรอง ช่วยให้สามารถอพยพได้อย่างรวดเร็วและประสิทธิภาพแรงดันสูงสุดที่สูงขึ้น

ถาม: ปั๊มเพิ่มแรงดันเชิงกล Roots สามารถทำงานแยกกันโดยไม่ต้องใช้ปั๊มสำรองได้หรือไม่

ตอบ: ไม่ ปั๊มเพิ่มแรงดันเชิงกลจำเป็นต้องมีปั๊มสำรองที่เหมาะสม (เช่น ปั๊มแห้งหรือปั๊มใบพัดหมุน) เพื่อปล่อยก๊าซสู่ความดันบรรยากาศ

ถาม: เหตุใดฉันจึงควรหลีกเลี่ยงการเลือกปั๊มเพิ่มแรงดันตามความเร็วปั๊มที่ระบุเท่านั้น

ตอบ: ความเร็วการสูบที่กำหนดแสดงถึงการเคลื่อนที่ในอุดมคติโดยไม่คำนึงถึงการสูญเสียระบบที่แท้จริง-ในโลก ประสิทธิภาพที่แท้จริงขึ้นอยู่กับสื่อนำไฟฟ้าของท่อสุญญากาศ- ความจุของปั๊มสำรอง แรงดันใช้งาน และโหลดก๊าซในห้องเพาะเลี้ยง

ถาม: ฉันจะป้องกันความร้อนเกินพิกัดระหว่างการทำงานของปั๊มเสริมได้อย่างไร

ตอบ: ภาวะความร้อนเกินพิกัดสามารถป้องกันได้โดยการรักษาแรงดันในการทำงานให้อยู่ภายในขีดจำกัดส่วนต่างที่อนุญาต (Delta P max) การใช้วาล์วระบายแรงดัน ตัวขับความถี่แปรผัน (VFD) หรือสวิตช์แรงดันเพื่อควบคุมการสตาร์ทบูสเตอร์-จะช่วยปกป้องปั๊มจากโหลดก๊าซที่มากเกินไป

ถาม: มีมาตรการป้องกันด้านความสะอาด UHV อะไรบ้างในระหว่างการผลิต

ตอบ: สำหรับบริการ UHV ส่วนประกอบด้านสุญญากาศ-จะต้องผ่านกระบวนการทำความสะอาดแบบพิเศษ เช่น การขจัดไขมันด้วยอัลตราโซนิก เพื่อกำจัดสารไฮโดรคาร์บอนที่ตกค้าง

ป้ายกำกับยอดนิยม: ปั๊มสุญญากาศเชิงกลสูงพิเศษ ผู้ผลิตปั๊มสุญญากาศเชิงกลสูงพิเศษ ซัพพลายเออร์ โรงงาน